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  • 自建房科普 | 光刻机是什么
    自建房科普 | 光刻机是什么
    一、光刻机是什么1、光刻机也叫掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫Mask Alignment System。2、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘...